A fabricacao de semicondutores empurra o desempenho dos materiais ate seus limites absolutos. Entre exposicao a plasma, ciclos termicos de 23C a 400C em camaras de processamento termico rapido (RTP), e os ambientes quimicos ultrapuros necessarios para fabricacao de nos avancados, poucos plasticos de engenharia sobrevivem. PEEK e um deles.
O Problema do Ciclo Termico
O processamento termico rapido expoe componentes de manuseio de wafers a temperaturas de temperatura ambiente a 400C em segundos, depois de volta a temperatura ambiente, milhares de vezes por ciclo de camara. A maioria dos polimeros ou racha por choque termico ou libera gas, contaminando a superficie do wafer. PEEK mantem sua integridade mecanica nesta faixa de temperatura.
Resistencia ao Plasma em Camaras de Ataque
Em camaras de ataque por plasma (ICP-RIE, CCP-RIE) e deposicao quimica por vapor (CVD), componentes enfrentam bombardemento ionico reativo de plasmas de CF4, SF6, CHF3 e Ar. PEEK-CA30 demonstra taxas significativamente mais baixas de geracao de particulas sob exposicao a plasma, tornando-o o material preferido para isoladores de sapatas de chuck eletrostatico (ESC) e componentes de anel de foco.
Compatibilidade Quimica em Processamento Umido
Bancadas umidas pos-ataque e pos-CMP usam misturas quimicas agressivas: HF, HNO3, H2SO4, APM e SPM. PEEK demonstra resistencia a todas essas Quimica ate 100C, tornando-o ideal para componentes de barco de wafer, aneis de kit de processo e selos de sistema de distribuicao quimica.
Controle de Contaminacao por Ions Metalicos
Para nos avancados abaixo de 28nm, a contaminacao por ions metalicos do equipamento de processo e um limitador critico de rendimento. LiiFoo oferece materiais PEEK em graus de baixa impureza ionica metalica testados por ICP-MS para menos de 10 ppb de Na, K, Fe, Cu, Cr e Ni.
Caso de Referencia: Anel de Carrier de Wafer PEEK em Processo CMP de 300mm
Uma fabricao DRAM chinesa de destaque substituiu seus aneis de carrier de zirconia endurecida com alumina (ATZ) por PEEK-CA30 da LiiFoo apos enfrentar rachaduras de anel em 450 ciclos. O anel de carrier PEEK-CA30 atingiu 2.200 ciclos antes da substituicao, uma melhoria de 5x.
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